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本发明提供了一种晶圆级光波导及其制造方法，利用半导体集成电路制造工艺，能够制造出接触面光滑、厚度均匀且端面为任意角度镜面的微米级光波导，同时大幅度降低制造成本。...
该专利属于晶方半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶方半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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