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本发明涉及电阻器技术领域，公开了一种晶圆电阻膜制备装置以及制备方法，包括滚筒、驱动装置、挡板、电子枪和坩埚，驱动装置带动滚筒转动，进而带动滚筒内的陶瓷棒不断运动，电子枪朝向坩埚蒸发源，挡板在开启和关闭位置之间切换。本发明的有益效果为：能够准...
该专利属于广东风华高新科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东风华高新科技股份有限公司授权不得商用。

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