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本发明的课题在于提供一种能够实现DUT的温度调整中的响应性的提高的温度调整装置。为此，温度调整装置(8)具备：热交换构件(82)，其与DUT(300)接触；第八流通孔(821)，其通过热交换构件(82)的内部；以及连接部(817)，其使流体...
该专利属于株式会社爱德万测试所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱德万测试授权不得商用。

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