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本申请公开了一种热处理装置的进气管道及热处理装置，属于热处理工艺技术领域，该进气管道包括：第一进气管道、第一质量流量控制器和第二进气管道；所述第一进气管道的侧壁上设置有出气孔；所述第一进气管道的一端设置有第一进气口；所述第二进气管道的一端设...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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