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本发明属于靶材制备技术领域，公开了一种低电阻氧化锡掺杂氧化钼或钨靶材及制备方法。所述靶材由摩尔比为97～99.5:3～0.5的氧化锡和氧化钼或氧化钨组成。其制备方法为：将氧化钼粉或氧化钨粉和分散剂加入到水中搅拌分散研磨得到浆料一；然后加入氧...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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