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本申请涉及半导体检测技术领域，提供了一种搬运装置。该搬运装置利用机械手模组带动标定模组在第一位置和第二位置之间流转；具体地，当标定模组位于第一位置时第一定位视觉模组拍照，即可获得标定模组沿第一移动路径和第一方向的位置信息；当标定模组移动至第...
该专利属于杭州长川科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州长川科技股份有限公司授权不得商用。

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