下载包含磷铜合金的导电结构及所述导电结构的制备方法的技术资料

文档序号:38865720

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本揭示内容提出一种多层布线结构,包含复数个介电层、与这些介电层交错的复数个导电布线层,其中这些导电布线层包含磷铜合金(例如Cu3P)。P)。P)。
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