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用于制造显示装置的沉积装置及使用其的沉积方法制造方法及图纸
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下载用于制造显示装置的沉积装置及使用其的沉积方法的技术资料
文档序号:38865430
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用于制造显示装置的沉积装置包括:腔室;沉积器,布置在所述腔室的内部,并且被配置成喷射沉积物质;以及热成像摄像机模块,其中,所述热成像摄像机模块包括:热成像摄像机,被配置成测量被摄体的温度;透镜,包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面,并...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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