下载掩膜结合力测试方法的技术资料

文档序号:38862920

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本申请涉及一种掩膜结合力测试方法。测试方法包括如下步骤:在基材的表面放置隔离件,使所述隔离件遮蔽所述基材的部分表面。在所述隔离件的部分表面制备测试掩膜,并使所述测试掩膜延伸至所述基材裸露的表面。通过对所述隔离件裸露的部分施加作用力以使所述测...
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