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本发明公开了一种高空间分辨率的电磁无损检测方法，属于无损检测技术领域。将微米尺寸的无磁闭合线圈制备于原子力显微镜探针尖端或悬臂梁上构成磁力传感器感应元件，来感测探针周边的耦合磁场(背景磁场和待测样品磁场)。磁场作用下磁力传感器会引起原子力显...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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