一种高空间分辨率的电磁无损检测方法技术

本发明专利技术公开了一种高空间分辨率的电磁无损检测方法，属于无损检测技术领域。将微米尺寸的无磁闭合线圈制备于原子力显微镜探针尖端或悬臂梁上构成磁力传感器感应元件，来感测探针周边的耦合磁场(背景磁场和待测样品磁场)。磁场作用下磁力传感器会引起原子力显微镜悬臂梁发生偏转，再利用原子力显微镜的光电探测系统测量悬臂梁的垂直方向上的转角，即可计算出磁力矩，再设置合适的滤波器，进而解耦测得待测样品磁场。所述的电磁无损检测方法具有高空间分辨率、背景磁场抑制检测等优点，可以实现铁磁材料的漏磁、巴克豪森噪声等电磁无损测量。损测量。损测量。

【技术实现步骤摘要】
一种高空间分辨率的电磁无损检测方法


[0001]本专利技术为一种高空间分辨率的电磁无损检测方法，可将漏磁检测及巴克豪森噪声检测技术空间分辨率提升至微米量级。

技术介绍

[0002]漏磁、巴克豪森噪声检测是电磁无损检测中较为常用的检测手段，其利用材料在电磁场作用下呈现出的磁学性质变化，来判断材料表面缺陷、力学性能及残余应力等性质，已广泛应用于对铁磁性材料的无损检测。这些检测手段需对被测试样施加较大的电磁场激励，其检测原理本质上为强背景磁场下试样激发的局域弱磁场信号检测。但已有的磁场检测传感器难以满足在微米尺度下对这一弱磁信号的高性能探测。原子力显微镜具有微纳米级空间分辨率，但现有的基于原子力显微镜的磁测量方法，其使用的磁性探针易被强背景磁场磁化。因此，为将漏磁检测、巴克豪森噪声检测等电磁无损检测技术空间分辨率提升至微米量级，设计了一种基于无磁性材料闭合线圈的磁力传感器，并集成至原子力显微镜，从而提供了一种高空间分辨率的电磁无损检测方法。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的为提供一种高空间分辨率的电磁无损检测方法，利用制备于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高空间分辨率的电磁无损检测方法，其特征在于：将无磁闭合线圈制备于原子力显微镜探针尖端或悬臂梁上构成磁力传感器感应元件，来感测探针周边的耦合磁场，耦合磁场包括强背景磁场和弱待测样品磁场；耦合磁场作用磁力传感器引起原子力显微镜悬臂梁发生偏转，利用原子力显微镜的光电探测系统测量悬臂梁的垂直方向上的转角计算出磁力矩，反推出待测样品磁场；基于原子力显微镜的新型磁力传感器尺寸为微米量级，实现空间分辨率达微米级别的漏磁、巴克豪森噪声检测电磁无损测量。2.根据权利要求1所述的高空间分辨率的电磁无损检测方法，其特征在于：所述磁力传感器的闭合线圈，尺寸为微纳米量级，形状任意，采用离子束诱导沉积或者电子束诱导沉积工艺制备，制备于探针悬臂梁或者探针尖端。3.根据权利要求1所述的高空间分辨率的电磁无损检测方法，其特征在于：所述磁力传感器的闭合线圈为无磁性导电材料。4.根据权利要求1所述的高空间分辨率的电磁无损检测方法，其特征在于：所述磁力传感器对背景磁场检测有抑制效果；探针在背景磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘秀成，梁彭福，李鹏，王钰钰，吴斌，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：