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本发明属于晶圆领域，公开了数据处理方法、设备及存储介质。应用于晶圆倒片设备，晶圆倒片设备上集成有机械手臂，包括在检测到晶圆的相应制程结束后，获取包含有晶圆表面的待识别图像；对待识别图像进行缺陷检测识别，生成缺陷识别结果；根据缺陷识别结果确定...
该专利属于上海感图网络科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海感图网络科技有限公司授权不得商用。

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