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一种半导体元件及其制备方法。该半导体元件包括：设置于基底上的第一导电层以及设置于第一导电层上的第二导电层；第一次组实体对准标记以及第一次组间隔对准标记。第一次组实体对准标记包括：第一层对准标记，经设置于第一导电层中；以及第二层对准标记，经设...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。

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