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一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置制造方法及图纸
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下载一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置的技术资料
文档序号:3886108
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本实用新型公开了一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置。它包括输出正交线偏振光的激光器,普通分光镜,消偏振分光棱镜,偏振分光棱镜,渥拉斯顿棱镜,三个检偏器,三个光电探测器和由直角棱镜组成的测量反射镜。本实用新型利用光学器件的偏振特性...
该专利属于浙江理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江理工大学授权不得商用。
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