一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置。它包括输出正交线偏振光的激光器，普通分光镜，消偏振分光棱镜，偏振分光棱镜，渥拉斯顿棱镜，三个检偏器，三个光电探测器和由直角棱镜组成的测量反射镜。本实用新型专利技术利用光学器件的偏振特性和分光特性组成了基于外差干涉原理的双光路测量结构，通过测量双光路的光程差实现了直线度及其位置的同时测量，具有纳米级的直线度及其位置的测量精度。本实用新型专利技术主要适用于超精密加工技术、微光机电系统、集成电路芯片制造技术等领域所涉及的精密工作台的运动位移测量、精密导轨的直线度检测等。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及以采用光学方法为特征的测量装置，尤其是涉及一种基于 双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置。
技术介绍
纵观国内外直线度的测量方法，按照有无直线基准，可将直线度的测量方 法大致分为两类第一类是无直线基准的测量方法，主要采用误差分离法，而 按照信息获取的途径不同，无直线基准测量法又可分为反向法、错位法和多测 头法，误差分离法实用可靠，适用于在线或离线测量， 一次测量可获得多项测 量误差，但该方法受多种因素的影响，如测量装置结构参数选择不当、测头间 距误差、传感器标定误差等，使测量准确度下降。第二类是有直线基准的测量 方法，该方法采用一定的直线基准，并以此基准来检测被测表面的直线度误差， 主要有光隙法、节距法、测微仪法、三坐标法、平晶干涉法、激光准直法、 激光全息法和双频激光干涉法等。以上这些测量方法中，基于双频激光干涉的 直线度测量方法具有纳米级高测量精度的优点，但是其仅是实现了直线度的单 独测量，存在没有给出被测直线度的具体位置的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测 量装置。采用激光外差干涉原理，既实现了纳米级精度的直线度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置，其特征在于：光源为横向塞曼效应Ｈｅ－Ｎｅ双频激光器（１）发出的激光束经普通分光镜（２）分成两束，第一反射光束入射至第一检偏器（３），被第一光电探测器（４）接收作为参考信号，第一透射光束经消偏振分光棱镜（５）再次分为第二反射光束和第二透射光束，第二反射光束入射到偏振分光棱镜（８），第二透射光束经渥拉斯顿棱镜（６）透射后将ｆ↓［１］和ｆ↓［２］两个频率的光分成两路测量光束，射向由直角棱镜组成的测量反射镜（７），测量反射镜放置于被测对象（１３）上，测量反射镜在被测对象上移动时，产生含有多普勒频差±Δｆ↓［１］和±Δｆ↓［２］的两测量光束ｆ↓［１］±Δｆ...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈本永，张恩政，严利平，杨涛，周砚江，
申请(专利权)人：浙江理工大学，
类型：实用新型
国别省市：86[]