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本发明公开了一种半导体测试机校准装置及其测试校准方法，涉及半导体测试机技术领域。其包括测试台，测试台的侧面安装有控制机箱，测试台表面的边缘处设置有测试仪，测试台的内部设置有校准机构，测试台表面的中间位置设有底座，校准机构与底座的下表面连接，...
该专利属于清华大学无锡应用技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学无锡应用技术研究院授权不得商用。

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