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本公开的实施例提供一种狭缝式涂布装置和涂布方法，包括：承载台、涂布头、可升降顶环、溢流槽和刮刻结构；承载台，用于放置待涂布晶圆；涂布头，用于在第一驱动装置的作用下沿第一方向移动，实现在待涂布晶圆的表面涂布光刻胶；在涂布头位于初始位置时，可升...
该专利属于苏州知睿精工科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州知睿精工科技有限公司授权不得商用。

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