温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种插槽式硅片清洗设备，其结构包括清洗箱体，清洗箱体的底部设有可上下活动的活动板，活动板上设有两个并排放置的定位块，两个定位块上均设有可转动的从动滚轮，从动滚轮的端面上设有放置硅片的下卡槽，定位块的两侧设有可活动的夹板，定位块的...
该专利属于江苏英思特半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏英思特半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。