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本实用新型提出一种单片清洗晶圆腔室自清洁和密封的结构，涉及晶圆清洗技术领域，包括腔室本体，腔室本体呈内腔中空、顶部开口的桶状结构，腔室本体内腔底部中间位置一体化成型有固定块，固定块内部中间位置转动连接有轴向的支杆，支杆顶部延伸出固定块，支杆...
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