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公开了一种微电子结构。微电子结构可以包括体半导体部分,该体半导体部分具有第一表面和与第一表面相对的第二表面。微电子结构可以包括过孔结构,该过孔结构沿着不平行于第一表面的方向至少部分延伸穿过体半导体部分。微电子结构可以包括第一电介质阻挡层,该...该专利属于美商艾德亚半导体接合科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美商艾德亚半导体接合科技有限公司授权不得商用。
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公开了一种微电子结构。微电子结构可以包括体半导体部分,该体半导体部分具有第一表面和与第一表面相对的第二表面。微电子结构可以包括过孔结构,该过孔结构沿着不平行于第一表面的方向至少部分延伸穿过体半导体部分。微电子结构可以包括第一电介质阻挡层,该...