下载一种喷涂设备的技术资料

文档序号:38851464

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本申请公开了一种喷涂设备,包括:基座、喷涂机构、传输机构和托载机构,基座上设有喷涂区;喷涂机构设于基座,用于向经过喷涂区的硅片的正面喷涂物料;托载机构活动连接于基座,用于托载在硅片的背面的至少部分表面,并带动硅片经过喷涂区;传输机构活动连接...
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