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本申请提供了一种EFEM微环境的控制系统，包括：热空气传输模块，用于接收蚀刻腔室输出的干燥热空气并传输至所述EFEM，所述干燥热空气用于调节所述EFEM中的温度和湿度；温湿度传感器，设于所述EFEM中，用于检测所述EFEM中的温度和湿度，并...
该专利属于中芯北方集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯北方集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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