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一种进气结构及气相沉积设备，涉及气相沉积技术领域。该进气结构，包括进气主体、第一密封条和第二密封条，进气主体具有相对设置的两个加工端面，两个加工端面分别用于在进气主体内加工匀气槽和出气槽，第一密封条将匀气槽的槽口密封以形成匀气道，第二密封条...
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