下载一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法的技术资料

文档序号:38841566

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本发明公开一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法。该热场调节结构应用于单晶炉内,其包括:控制装置及移动保温组件,其中,移动保温组件设置于单晶炉内的导流筒和保温筒之间的空间;控制装置与移动保温组件连接,用于在单晶炉内的坩埚与导流筒相对位置...
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