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本发明提供了一种基于暗场成像过焦扫描的层叠缺陷分离方法及装置。该方法包括：利用过焦扫描光学显微技术对标准样品的干扰缺陷进行扫描，得到基于暗场成像的干扰缺陷的弥散斑图像，并利用图像映射模型处理干扰缺陷的弥散斑图像，得到图像映射关系数据库；利用...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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