下载真空电容器与射频匹配器的技术资料

文档序号:38829334

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本发明提供一种真空电容器与射频匹配器,真空电容器包括壳体组件、磁浮驱动线圈组、磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极;壳体组件沿一轴线的方向设置,其内部形成密闭的真空腔室;磁浮动子、连接件、屏蔽件、可动电极以及固定电极均容置于真空腔...
该专利属于上海财盈半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海财盈半导体股份有限公司授权不得商用。

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