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本发明属于半导体生产行业领域，具体涉及一种模块化设计的晶圆转运机器人，包括执行组件、回转驱动组件和直线驱动组件；执行组件上设置有用于与回转驱动组件连接的接口组件，直线驱动组件包括分别设置于导轨连接板两端的法兰连接板和升降驱动安装板；回转驱动...
该专利属于苏州纳道精运半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳道精运半导体科技有限公司授权不得商用。

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