下载半导体元件及其形成方法的技术资料

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一种半导体元件及其形成方法,其中该半导体元件包括具有第一导电类型的衬底、设置于衬底上的外延层、设置于外延层中的掺杂区、以及设置穿过掺杂区并延伸进入外延层中的栅极电极。外延层具有第一导电类型,而掺杂区具有第二导电类型,第二导电类型不同于第一导...
该专利属于世界先进积体电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过世界先进积体电路股份有限公司授权不得商用。

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