温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种锁频单脉冲紫外超快激光晶圆全切割方法，所述方法包括步骤：将晶圆片的下表面粘贴到蓝膜上，上表面涂覆光刻胶涂覆层；对晶圆片进行视觉检测定位；设置激光器发射的激光依次经过整形光路、光束传输光路、激光切割头后，聚焦在操作台上的晶圆片表...
该专利属于北京赢圣科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京赢圣科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。