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质量分析装置制造方法及图纸
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文档序号:38821664
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本公开公开了不仅降低环境温度的影响,还降低环境湿度的影响,防止构成质量分析装置的电源的电气元件的寿命变短的技术。因此,本公开提出了一种质量分析装置,参照图3,该质量分析装置具备:电路基板,其配置有电气元件;气体供给部;以及控制来自气体供给部...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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