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本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种用于晶圆搬运机器人的相对位姿校准方法及系统，包括如下步骤：获取机器人中心与待校准晶圆中心的非精确值，通过机器人执行末端的线激光扫描仪获取晶圆及晶圆放置设备的三维点云数据信息，得到晶圆轮廓点云簇；取晶...
该专利属于苏州纳道精运半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳道精运半导体科技有限公司授权不得商用。

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