下载一种封闭管道异物清理装置及管道系统的技术资料

文档序号:38804342

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本申请涉及一种封闭管道异物清理装置及管道系统,装置包括:清理装置,其用于设在与管道连接的过渡支路内;抽真空机构,其用于与所述过渡支路连接;控制模块,其用于在管道内流量不满足设定时,在当前沉积工序结束后,控制所述抽真空机构对所述过渡支路抽真空...
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