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本申请实施例涉及一种电镀装置，包括：电镀槽，用于容纳电镀液；置放区，所述置放区为进行电镀处理时被电镀结构所在的区域；层流板，设置在所述电镀槽中；通孔，贯穿所述层流板，用于供电镀液通过；其中，所述通孔包括朝向所述置放区的第一端口和背离所述置放...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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