下载一种高像素密度LED显示模块及其制作方法的技术资料

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一种高像素密度LED显示模块的制作方法,属光电子器件制造技术领域。该方法取砷化镓基板外延片,在外延片的P层表面形成电极图形及欧姆接触;从外延片P层表面的特定位置向下切割形成深度超过外延片中P型材料厚度的沟槽,在沟槽中蒸镀N型欧姆接触金属并形...
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