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一种DMD光刻投影镜头制造技术
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文档序号:38783819
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本实用新型提供一种DMD光刻投影镜头,包括镜筒和多块镜片,所述镜筒内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽,多块所述镜片各自通过气垫圈一一对应地安装于多个所述环形安装槽以使得多块所述镜片保持同轴度。本实用新型提供的一种DMD光刻投影镜头...
该专利属于苏州点赞光学科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州点赞光学科技有限公司授权不得商用。
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