一种DMD光刻投影镜头制造技术

本实用新型专利技术提供一种DMD光刻投影镜头，包括镜筒和多块镜片，所述镜筒内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽，多块所述镜片各自通过气垫圈一一对应地安装于多个所述环形安装槽以使得多块所述镜片保持同轴度。本实用新型专利技术提供的一种DMD光刻投影镜头，镜片通过气垫圈安装于镜筒中，气垫圈采用圆环形气囊结构，通过充放气实现镜片的装配与拆卸，并可保证多块镜片之间同轴布置，其结构简单，使用方便，解决了目前DMD光刻投影镜头中的镜片同轴度难以保证一致的问题。度难以保证一致的问题。度难以保证一致的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种DMD光刻投影镜头


[0001]本技术涉及光刻机镜头
，特别涉及一种DMD光刻投影镜头。

技术介绍

[0002]DMD数字无掩模光刻系统是成熟的现有技术，新一代基于数字微镜阵列(Digital Micro
‑
mirror Device，DMD)空间光调制器的数字无掩模光刻技术大幅简化了传统光刻掩膜制作工艺的繁琐流程，使得新犁数字光刻掩膜的制作变得简单易控，显著提升了光刻图形的复杂度，并进一步改善了光刻的精度和效率。光刻投影镜头需要将镜头中的每个镜片精确定位，位置精度需要达到微米甚至是亚微米的水平，同时，倾斜偏差度要小于一微米。现有技术的DMD光刻投影镜头主要存在镜片安装同轴度差的问题，导致位置精度达不到使用要求。
[0003]所以，针对现有技术存在的不足，有必要设计一种DMD光刻投影镜头，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]为克服上述现有技术中的不足，本技术目的在于提供一种DMD光刻投影镜头。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供的技术方案是：一种DMD光刻投影镜头，包括镜筒和多块镜片，所述镜筒内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽，多块所述镜片各自通过气垫圈一一对应地安装于多个所述环形安装槽以使得多块所述镜片保持同轴度。
[0006]优选的技术方案为：所述气垫圈采用圆环形气囊结构并包括气囊主体，所述气囊主体内圈形成有和所述镜片外圈相互契合的镜片支撑环，所述气囊主体外圈形成有和所述环形安装槽内圈相互契合的气垫圈支撑环。/>[0007]优选的技术方案为：所述气囊主体上设有连通气囊内部的充放气阀。
[0008]优选的技术方案为：所述镜筒外壁上设有连通所述环形安装槽的窗口，所述窗口和所述充放气阀匹配设置。
[0009]优选的技术方案为：所述窗口配置有可开合的翻盖。
[0010]由于上述技术方案运用，本技术具有的有益效果为：
[0011]本技术提供的一种DMD光刻投影镜头，镜片通过气垫圈安装于镜筒中，气垫圈采用圆环形气囊结构，通过充放气实现镜片的装配与拆卸，并可保证多块镜片之间同轴布置，其结构简单，使用方便，解决了目前DMD光刻投影镜头中的镜片同轴度难以保证一致的问题。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图。
具体实施方式
[0013]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
[0014]请参阅图1。须知，在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0015]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0016]根据本技术的一个总体技术构思，提供一种DMD光刻投影镜头，包括镜筒1和多块镜片2，镜筒1内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽11，多块镜片2各自通过气垫圈3一一对应地安装于多个环形安装槽11以使得多块镜片2保持同轴度。
[0017]图1显示根据本技术的一个实例性的实施例的结构示意图。
[0018]如图1所示，在本技术的一个实例性的实施例中，公开一种DMD光刻投影镜头，包括镜筒1和多块镜片2，镜筒1内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽11，多块镜片2各自通过气垫圈3一一对应地安装于多个环形安装槽11以使得多块镜片2保持同轴度。
[0019]如图1所示，在图示的实施例中，气垫圈3采用圆环形气囊结构并包括气囊主体31，气囊主体31内圈形成有和镜片2外圈相互契合的镜片支撑环32，气囊主体31外圈形成有和环形安装槽11内圈相互契合的气垫圈支撑环33。
[0020]如图1所示，在图示的实施例中，气囊主体31上设有连通气囊内部的充放气阀4，用于充放气。
[0021]如图1所示，在图示的实施例中，镜筒1外壁上设有连通环形安装槽11的窗口12，窗口12和充放气阀4匹配设置，方便在镜筒1外部实现充放气操作。
[0022]如图1所示，在图示的实施例中，窗口12配置有可开合的翻盖5，避免对充放气阀4造成损伤导致漏气，从而破坏镜片2同轴度。
[0023]由于气囊主体采用圆环形结构，在镜筒中环形安装槽同轴布置的前提下，可确保镜片支撑环同轴设置，从而保证多块镜片之间的同轴度。另外，需要说明的是，气垫圈通过充放气阀和外部充气装置连接；并且，各个气垫圈在装配时需保证气压一致，以保证同轴度。
[0024]所以，本技术具有以下优点：
[0025]本技术提供的一种DMD光刻投影镜头，镜片通过气垫圈安装于镜筒中，气垫圈采用圆环形气囊结构，通过充放气实现镜片的装配与拆卸，并可保证多块镜片之间同轴布置，其结构简单，使用方便，解决了目前DMD光刻投影镜头中的镜片同轴度难以保证一致的问题。
[0026]上述实施例仅例示性说明本技术的原理及其功效，而非用于限制本技术。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本技术的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本技术所揭示的精神和技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本技术的权利要求所涵盖。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种DMD光刻投影镜头，其特征在于：包括镜筒和多块镜片，所述镜筒内壁上设有多道相互平行且同轴布置的环形安装槽，多块所述镜片各自通过气垫圈一一对应地安装于多个所述环形安装槽以使得多块所述镜片保持同轴度。2.根据权利要求1所述的一种DMD光刻投影镜头，其特征在于：所述气垫圈采用圆环形气囊结构并包括气囊主体，所述气囊主体内圈形成有和所述镜片外圈相互契合的镜片支撑环，所述气囊主体外圈形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘华，邰赛，钱琪，
申请(专利权)人：苏州点赞光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：