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本发明涉及半导体制备技术，具体公开了一种半导体制备系统，包括生产单元和中控单元，生产单元用于半导体的制备生产，中控单元用于对生产单元在进行制备生产半导体时，对其工作状况进行精确控制，其中，生产单元包括：外机体和半导体制备室，半导体制备室位于...
该专利属于国镓芯科（成都）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国镓芯科（成都）半导体科技有限公司授权不得商用。

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