下载真空吸附动子的技术资料

文档序号:38763916

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本申请公开了一种真空吸附动子,包括动子本体以及供气机构,动子本体设有用于提供负压的第一气泵以及用于连接吸附设备的真空接头,供气机构设有用于提供负压或正压的第二气泵,动子还包括管路系统,管路系统包括第一气路、第二气路以及第三气路,第一气路连通...
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