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一种基于MEMS摆镜的闭环控制扫描装置制造方法及图纸
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下载一种基于MEMS摆镜的闭环控制扫描装置的技术资料
文档序号:38763150
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本发明涉及激光雷达发射光学系统技术领域,特别涉及一种基于MEMS摆镜的闭环控制扫描装置。该装置包括控制单元、第一激光发射单元、MEMS摆镜、第二激光发射单元、感光芯片;第一激光发射单元发出的激光经过MEMS摆镜反射形成扫描光路,扫描光路用于...
该专利属于北京控制工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京控制工程研究所授权不得商用。
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