下载一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法的技术资料

文档序号:38761642

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本发明公开一种基于周期性畴结构的声表面波器件及其制备方法,包括:利用光刻法在压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面制备极化电极轮廓;利用高温胶带分割压电材料晶体的正z面和压电材料晶体的反z面,获得不同极化区域;在极化电极轮廓上镀上第一金...
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