下载一种GaN基LED芯片的制备方法的技术资料

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一种GaN基LED芯片的制备方法,涉及一种LED芯片。提供一种不仅效果明显、操作简便、与常规器件工艺兼容,而且具有低串联电阻和良好P-型欧姆接触的GaN基LED芯片的制备方法。用溅射或蒸发的方法在LED外延片P-GaN表面沉积一层金属Zn薄...
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