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本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,半导体器件至少包括:衬底;浅槽隔离结构,设置在衬底中,且浅槽隔离结构将衬底划分为多个有源区,有源区包括第一类工作区和第二类工作区,其中第一类工作区的宽度大于第二类工作区的宽度;轻掺杂区,设置在有源区中...该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,半导体器件至少包括:衬底;浅槽隔离结构,设置在衬底中,且浅槽隔离结构将衬底划分为多个有源区,有源区包括第一类工作区和第二类工作区,其中第一类工作区的宽度大于第二类工作区的宽度;轻掺杂区,设置在有源区中...