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本发明公开一种晶圆转运机器人夹爪振动抑制系统与方法，所述系统包括振动控制器和设置于机器人夹爪上的集成阵列，集成阵列由间隔排列的多个振动传感器和多个电致动器组成，所述多个振动传感器共同组成集成阵列的感知部分，用于获取机器人夹爪各点位的振动特征...
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