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本发明提供酸离子含量少、高温高湿条件下保存时的布线腐蚀少的中空结构体。本发明为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(II)的中空结...
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