本发明专利技术提供酸离子含量少、高温高湿条件下保存时的布线腐蚀少的中空结构体。本发明专利技术为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(II)的中空结构体，用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时，有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。(离子溶出量的评价方法)将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中，于100～121℃进行10～20小时热水萃取后，将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液，通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度，将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量，将换算而得的值作为离子溶出量。量。量。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】中空结构体及使用其的电子部件、负型感光性树脂组合物
[0001]本专利技术涉及中空结构体及使用其的电子部件、负型感光性树脂组合物。
技术介绍
[0002]电子设备的高速、高品质通信中，MEMS(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS；微电子机械系统)等电子部件是不可缺少的技术。在MEMS中，传感器、噪声滤波器等需要中空结构，在中空结构支撑材料和中空结构顶壁材料中使用感光性树脂组合物(专利文献1～3)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014
‑
74773号公报
[0006]专利文献2：日本特开2013
‑
178526号公报
[0007]专利文献3：国际公开第2016/158760号。
技术实现思路
[0008]专利技术要解决的课题
[0009]以往的使用了感光性树脂组合物的中空结构体存在在高温高湿条件下金属布线腐蚀性高的课题。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]为了解决上述课题，本专利技术涉及以下内容。
[0012]中空结构体，其为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(II)的中空结构体，其中，
[0013]用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时，有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。
[0014](离子溶出量的评价方法)
[0015]将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中，于100～121℃进行10～20小时热水萃取后，将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液，通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度，将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量，将换算而得的值作为离子溶出量。
[0016]专利技术的效果
[0017]本专利技术能够抑制高温高湿条件下保存时的金属布线腐蚀。
附图说明
[0018][图1]为本专利技术的中空结构体的截面图。
[0019][图2]为示出本专利技术中使用的有机膜的截面的图。
具体实施方式
[0020]本专利技术为中空结构体，其为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(II)的中空结构体，其中，
[0021]用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时，有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。
[0022](离子溶出量的评价方法)
[0023]将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中，于100～121℃进行10～20小时热水萃取后，将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液，通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度，将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量，将换算而得的值作为离子溶出量。
[0024]本专利技术的中空结构体为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的有机膜(II)的中空结构体。
[0025]作为具有金属布线的基板，主要使用形成有铝布线或铜布线硅、氧化硅、钽酸锂、铌酸锂、砷化镓等，但不限于此。
[0026]用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时的离子溶出量的合计若为4000ppm以下，则能够抑制高温、高湿条件下的中空结构内的金属布线的腐蚀，从抑制腐蚀的观点考虑，更优选为2000ppm以下，进一步优选为1000ppm以下，最优选为500～0ppm。将下述评价方法中的检测下限设为0ppm。
[0027]对于离子溶出量的评价方法，具体如下进行。
[0028]使评价离子溶出量的各有机膜从中空结构体分离出规定量进行评价。也可以从用于形成各有机膜的树脂组合物评价离子溶出量。在从用于形成各有机膜的树脂组合物评价离子溶出量的情况下，也可以使用对液状或片状的树脂组合物进行加热处理而成的固化物。作为固化物的制作方法，可举出：在硅基板上涂布或层压树脂组合物，用烘箱加热处理后浸渍于氢氟酸水溶液并进行剥离的方法；使用橡胶辊将形成在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上的树脂片材转印到在加热板上经加热的聚四氟乙烯(PTFE)薄膜上后，进行加热处理，从PTFE薄膜剥离的方法。
[0029]制作的固化物用液氮冷冻粉碎后，将1.0～2.0g的固化物和10～20g(相对固化物而言质量比为10倍量)的纯水加入PTFE制的加压密闭容器中，在100～121℃的高湿器中进行10～20小时热水萃取，用膜过滤器过滤萃取液的上清液作为检测液。此处用的纯水是经蒸馏、离子交换的水，使用JIS K 0557(1998)中规定的试剂制备、微量分析的试验等中使用的纯水。关于热水加压萃取法的步骤，参考桥本芳美：分析化学(Bunseki Kagaku),49,8(2000).，关于萃取温度条件，参考北村Ai：Network Polymer,33,3(2012)。
[0030]依照日本工业标准JIS K 0127(2013)离子色谱通则离子色谱法对该检测液进行分析。向离子色谱分析装置分别导入甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的标准液并制作校正曲线，接着导入检测液25μL，根据得到的峰面积和校正曲线，求得甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子各自的浓度，将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量，将换算而得的值作为离子溶出量。
[0031]本专利技术的中空结构体中，用所述离子溶出量的评价方法对作为中空结构支撑材料
的有机膜(I)进行评价时的离子溶出量优选为2000ppm以下。若为2000ppm以下，则能够抑制高温、高湿条件下的中空结构内的金属布线的腐蚀，从抑制腐蚀的观点考虑，更优选为1000ppm以下，进一步优选为500ppm以下。
[0032]本专利技术的中空结构体中，用所述离子溶出量的评价方法对作为中空结构顶壁材料的有机膜(II)进行评价时的离子溶出量优选为2000ppm以下。若为2000ppm以下，则能够抑制高温、高湿条件下的中空结构内的金属布线的腐蚀，从抑制腐蚀的观点考虑，更优选为1000ppm以下，进一步优选为500ppm以下。
[0033]本专利技术的中空结构体中，由所述离子溶出量的评价方法得到的所述有机膜(I)的检测液的导电率优选为500μS/cm以下。通过使检测液的导电率为500μS/cm以下，从而高温、高湿条件下的酸离子的扩散减少，因此能够抑制中空结构内的金属布线的腐蚀。从抑制腐蚀的观点考虑，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.中空结构体，其为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5～30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5～30μm的有机膜(II)的中空结构体，其中，用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时，有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下，离子溶出量的评价方法：将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中，于100～121℃进行10～20小时热水萃取后，将萃取液的上清液作为检测液；向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液，通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度，将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量，将换算而得的值作为离子溶出量。2.根据权利要求1所述的中空结构体，其中，用所述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)进行评价时的离子溶出量为2000ppm以下。3.根据权利要求1或2所述的中空结构体，其中，用所述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(II)进行评价时的离子溶出量为2000ppm以下。4.根据权利要求1～3中任一项所述的中空结构体，其中，由所述离子溶出量的评价方法得到的所述有机膜(I)的检测液的导电率为500μS/cm以下。5.根据权利要求1～4中任一项所述的中空结构体，其中，由所述离子溶出量的评价方法得到的所述有机膜(II)的检测液的导电率为500μS/cm以下。6.根据权利要求1～5中任一项所述的中空结构体，其中，所述有机膜(I)包含使正型感光性树脂组合物固化而得的固化物，所述正型感光性树脂组合物含有：选自由聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺、它们中任一者的前体及它们的共聚物组成的组中的至少一种碱溶性树脂(A)；萘醌二叠氮化合物(B)；和热交联性化合物(C)。7.根据权利要求6所述的中空结构体，其中，所述萘醌二叠氮化合物(B)含有式(1)及/或式(2)表示的化合物，[化学式1]
8.根据权利要求1～5中任一项所述的中空结构体，其中，所述有机膜(I)包含使负型感光性树脂组合物固化而得的固化物，所述负型感光性树脂组合物含有：选自由聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺、它们中任一者的前体及它们的共聚物组成的组中的至少一种碱溶性树脂(A)；热交联性化合物(C)；肟系光聚合引发剂(D)；和聚合性化合物(E)，该肟系光聚合引发剂(D)含有式(3)表示的化合物，[化学式2]式(3)中，Ar表示芳基，Z1表示碳原子数6～20的有机基团，Z2表示氢原子或碳原子数1～20的有机基团。9.根据权利要求8所述的中空结构体，其中，所述聚合性化合物(E)含有式(4)表示的化合物，在所述聚合性化合物(E)的总量100质量％中，含有55～90质量％的该式(4)表示的化合物，
[化学...
【专利技术属性】
技术研发人员：小山祐太朗，荒木齐，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：
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