下载一种铁电晶体管、存储阵列、存储器及制备方法的技术资料

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一种铁电晶体管、存储阵列、存储器及制备方法,用以降低铁电晶体管的占用面积。铁电晶体管包括依次层叠的栅极金属层、铁电介质层和沟道层,以及分别接触沟道层的漏极金属层和源极金属层,其中,栅极金属层、漏极金属层和源极金属层呈上下重叠排布且互不接触。...
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