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本申请实施例提供了一种复合薄膜及其制备方法，包括：依次层叠的衬底层、隔离层和有源层；其中，衬底层的材质为多晶材料，和/或非晶材料。首先，相较于现有技术的复合薄膜中硅材质的衬底层，本申请制备复合薄膜的过程中无需进行硅材质提纯、硅衬底多步清洗以...
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