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本发明提供一种能够有效地防止旋转体的应力腐蚀破裂、耐腐蚀性优异的真空泵和其旋转体。在通过旋转体(103)的旋转将气体排出的真空泵(例如涡轮分子泵(100))中，旋转体(103)在其表面具有被第1表面处理层(1A)覆盖的第1区域(1)和被第2...
该专利属于埃地沃兹日本有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹日本有限公司授权不得商用。

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