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本发明涉及半导体激光器技术领域，具体提供一种基模低发散角垂直腔面发射激光器及其制备方法。包括：衬底、外延叠层、绝缘层、电传播层、接触层、介质膜DBR层、P型接触电极、N型接触电极；外延叠层位于衬底上表面；接触层位于外延叠层上表面的中心区域，...
该专利属于吉光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉光半导体科技有限公司授权不得商用。

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