下载一种碳化硅单晶生长的原料提纯方法和原料的技术资料

文档序号:38705675

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本发明属于碳化硅晶体生长的衍生技术领域,具体涉及一种碳化硅单晶生长的原料提纯方法和原料,原料提纯方法包括使原料进行筛分后获得筛分的原料和游离态碳粉,使筛分的原料进行氧化煅烧后获得提纯原料;氧化煅烧的条件包括:炉管具有相对设置的进气端和抽气端...
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